半導体装置で使用するパーツへの硬質アルマイト処理について教えてください。

半導体の硬質アルマイトは2種類に分かれており
　１．硫酸系を除く皮膜
　２．硫酸系を含む皮膜

１．については不純物を極端に嫌うところで使用されております。

２．については不純物を嫌うところで使用されておりますが硫酸単独皮膜は不純物の溶出等により使用されておりません。

そのほかに、封孔は蒸気封孔で、各工程の建浴、水洗水は純水を使用し、不純物の混入経路を塞ぐ方向で処理を行っております。

ご不明な点がございます時には、ご相談頂ければ幸いです。